上海某大型半導體制造商-新工藝工廠建設項目
2018年我公司設計、生產并安裝了酸系、堿系、粉系3個系統共由29套大型洗滌塔處理單元組成的無機廢氣處理系統。該系統自動化程度高，處理風量大且處理能力及效果都非常良好。其中酸系洗滌塔采用了按照客戶現場層高定制的非標臥式洗滌塔，17套設備在設備層中一字排開共處理風量125萬m3/H；堿系洗滌塔采用了協和化工FSW型立式高性能洗滌塔，共6套設備，處理風量36萬m3/H；粉系系統使用了協和化工標準文丘里處理裝置，共6套設備，處理風量30萬m3/H。用戶作為國內最先進的半導體制造商對我方設備給予了很高評價。 該系統最大的個體處理單元風量為89000m3/H，其對指定的無機廢氣處理能力也高達95%以上。該系統目前是我公司在中國國內建造的規模最大的系統之一。
