上海某英國(guó)著名半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)供應(yīng)商的研發(fā)中心排氣項(xiàng)目
我公司于2020年為該公司上海研發(fā)中心設(shè)計(jì)并安裝了一套FSW-160洗滌塔設(shè)備。該研發(fā)中心所使用的機(jī)臺(tái)多用于半導(dǎo)體工廠內(nèi)的廢氣處理配套，機(jī)臺(tái)試驗(yàn)時(shí)所排出廢氣需按照半導(dǎo)體行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行處理，對(duì)廢氣處理設(shè)備的性能要求較為嚴(yán)苛。為實(shí)現(xiàn)該目的，我方在此套廢氣處理系統(tǒng)中添加安裝了各類壓力控制、藥液供給控制及檢測(cè)單元，用以在自動(dòng)運(yùn)行模式下實(shí)時(shí)保證設(shè)備處理效果。配用動(dòng)力設(shè)備如：排氣風(fēng)機(jī)、循環(huán)泵由協(xié)和化工日本總公司生產(chǎn)，有技術(shù)性能穩(wěn)定、壽命長(zhǎng)、故障率低、惡劣工況下效率高等優(yōu)秀特點(diǎn)。為客戶實(shí)驗(yàn)機(jī)臺(tái)的運(yùn)行和實(shí)驗(yàn)操作的穩(wěn)定進(jìn)行提供了良好的排氣保障。
